半導(dǎo)體芯片廠(chǎng)對(duì)于空氣過(guò)濾器的要求非常嚴(yán)格

當(dāng)今，半導(dǎo)體芯片廠(chǎng)對(duì)生產(chǎn)環(huán)境空氣潔凈度最挑剔，對(duì)空氣過(guò)濾器的要求也最苛刻。粘在芯片上的粉塵可能造成斷路、短路而直接影響成品率。

衡量芯片集成度的指標(biāo)之一是“線(xiàn)寬”，即集成電路上導(dǎo)線(xiàn)的寬度。在線(xiàn)寬以微米計(jì)算的年代，制造環(huán)境對(duì)粉塵粒徑的限制是小于線(xiàn)寬的1/10，隨著線(xiàn)寬不斷變小，1/10之說(shuō)又變成了1/4、1/2。2002年，普通微機(jī)中P4處理器的線(xiàn)寬縮小到了0.13μm，此時(shí)任何粉塵都可能損害電路，粒徑與線(xiàn)寬的傳統(tǒng)比較過(guò)時(shí)了。

芯片廠(chǎng)傳統(tǒng)的通風(fēng)形式是“大循環(huán)”，車(chē)間的整個(gè)天花板上布滿(mǎn)無(wú)隔板高效過(guò)濾器，整個(gè)地面為回風(fēng)柵板。現(xiàn)在芯片廠(chǎng)有些車(chē)間使用自帶風(fēng)機(jī)的高效過(guò)濾裝置（FFU，F(xiàn)anFilter Units）。大循環(huán)和FFU兩種形式都能達(dá)到足夠的潔凈度，只是在運(yùn)行管理和能耗上有所差異。

空氣中的海鹽離子是所有電子工業(yè)的大敵，但海鹽粉塵的顆粒比較大，普通空氣過(guò)濾器就能將其清除。有人說(shuō)電子工業(yè)的理想地點(diǎn)應(yīng)該遠(yuǎn)離海岸，可國(guó)內(nèi)芯片廠(chǎng)就建在了經(jīng)濟(jì)發(fā)達(dá)的沿海地區(qū)，在過(guò)濾器上多花點(diǎn)錢(qián)就是了。

芯片廠(chǎng)特別在意過(guò)濾器上可能的微量揮發(fā)元素。近幾年出現(xiàn)了聚四氟乙烯PTFE纖維高效過(guò)濾材料，這種材料沒(méi)有揮發(fā)物，但它帶靜電，過(guò)濾后的空氣要進(jìn)行電中和以消除空氣中的離子，少了個(gè)隱患，多了個(gè)麻煩。目前PTEE高效濾材的價(jià)格偏高，絕大部分高效過(guò)濾器仍使用傳統(tǒng)的玻纖濾紙。高效過(guò)濾器上可能的揮發(fā)物主要來(lái)源于制造過(guò)程中使用的粘結(jié)劑、清洗劑、試驗(yàn)粉塵、輔助材料、為芯片廠(chǎng)供貨的過(guò)濾器廠(chǎng)商要在避免微量揮發(fā)物上下些功夫。

但當(dāng)芯片的線(xiàn)寬小到0.5μm時(shí)，人們發(fā)現(xiàn)空氣中的化學(xué)污染物成了影響成品率的主要危害，于是，后建的芯片廠(chǎng)空調(diào)系統(tǒng)中普遍配置了化學(xué)過(guò)濾器。芯片廠(chǎng)說(shuō)的化學(xué)過(guò)濾器就是活性炭過(guò)濾器，它的原理和制造工藝并不復(fù)雜。

芯片廠(chǎng)特別在意過(guò)濾器上可能的微量揮發(fā)元素近幾年出現(xiàn)了聚四氟乙烯PTFE纖維高效過(guò)濾材料，這種材料沒(méi)有揮發(fā)物，但它帶靜電，過(guò)濾后的空氣要進(jìn)行電中和以消除離子，少了個(gè)隱患，多了個(gè)麻煩。

但當(dāng)芯片的線(xiàn)寬小到0.5um時(shí)，人們發(fā)現(xiàn)空氣中的化學(xué)污染物成了影響成品率的主要危害，于是，后建的芯廠(chǎng)空調(diào)系統(tǒng)中普遍配置了化學(xué)過(guò)濾器。

芯片廠(chǎng)說(shuō)的化學(xué)過(guò)濾器就是活性炭過(guò)濾器，它的原理和制造工藝并不復(fù)雜。

許多情況下，設(shè)計(jì)師和現(xiàn)場(chǎng)人員也說(shuō)不清污染物的種類(lèi)和濃度，因此，芯片廠(chǎng)用的化學(xué)過(guò)濾器應(yīng)具有兩個(gè)特點(diǎn)：廣譜吸附性能、足夠多的吸附材料。